（1）不確定度。由于測(cè)量誤差的存在而使測(cè)量結(jié)果不能確定的程度，即表征測(cè)量結(jié)果分散性的極限。一般以測(cè)量“標(biāo)準(zhǔn)偏差”σ 表征。其置信區(qū)間（測(cè)量誤差極限）取±2σ 或±3σ，其概率分別為95.45%和99.73%。
（2）最大實(shí)體狀態(tài)（簡(jiǎn)稱MMC）。孔或軸具有允許的材料量最多時(shí)的狀態(tài)。
（3）最小實(shí)體狀態(tài)（簡(jiǎn)稱LMC）。孔或軸具有允許的材料量最少時(shí)的狀態(tài)。
（3）修正值。為了消除或減少系統(tǒng)誤差，用代數(shù)法加到未修正測(cè)量結(jié)果上的數(shù)值。其大小與示值誤差的絕對(duì)值相等，符號(hào)相反。
（4）分辨率。指測(cè)量器具所能顯示的最末一位數(shù)所代表的量值。
（5）靈敏度。指測(cè)量器具對(duì)測(cè)量變化的響應(yīng)變化能力。
（6）示值范圍。指測(cè)量器具所能顯示（或指示）的被測(cè)量最小值到最大值的范圍。
（7）測(cè)量范圍。指測(cè)量器具所能測(cè)出的最小值到最大值的范圍。有些計(jì)量器具的測(cè)量范圍和示值范圍是相同的。
（8）被測(cè)量。指測(cè)量對(duì)象，包括被測(cè)零件的長(zhǎng)度、角度、幾何形狀、相互位置以及表面粗糙度等幾何量。
（9）測(cè)量。一般指確定被測(cè)對(duì)象的量值而進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)過(guò)程。即將一個(gè)被測(cè)量與一個(gè)作為測(cè)量單位的標(biāo)準(zhǔn)量進(jìn)行比較，確定測(cè)量對(duì)象是標(biāo)準(zhǔn)單位量的若干倍或幾分之幾。
（10）測(cè)量重復(fù)性。指在相同的測(cè)量條件下，對(duì)同一被測(cè)“量”進(jìn)行多次測(cè)量時(shí)，各測(cè)量結(jié)果之間的一致性。通常以測(cè)量重復(fù)性的極限值（正負(fù)偏差）來(lái)表示。
（11）檢驗(yàn)與測(cè)量的區(qū)別。“檢驗(yàn)”比“測(cè)量”的含義更廣泛一些。對(duì)于零件幾何量的檢驗(yàn)，通常只判斷被測(cè)零件是否在合格范圍內(nèi)確定其是否合格，而不一定要確定其具體的測(cè)量值。對(duì)于金屬內(nèi)部質(zhì)量的檢驗(yàn)、表面裂紋的檢驗(yàn)等，則不能用“測(cè)量”這一概念。